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镀膜设备真空系统的设计

2020-01-20

目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别.归纳起来主要有如下几种系统:

(1)通用真空系统 系统的主泵是油扩散泵,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4pa的范围内.

(2)超高真空系统 在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵.就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上.从而得到超高真空系统.由于该系统仍采用油扩散泵,所以还是有油的系统。

无油超高真空镀膜机配备无油超高真空机组.CWD-500型配备的机组是三极式:以冷阴极溅射离子泵(JLP-400型)为主泵,钛升华泵(ST-0.1型)为辅助泵.并以SP-40型分子筛吸附泵作为系统的粗抽泵。系统还带有CT-200型内装式插板阀以及全套前级真空管路、烘烤装置等.为使烘烤时便于排气或快速抽气.机组还可以用一套机械泵加吸附装置作为辅助前级泵。机组的极限真空可达6.7×10-8 Pa,在1h内可从大气压下抽到1×10-5Pa.

镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空.有利于膜质量的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。譬如用1200L·s-1的分子泵在直径500mm的普通式高真空镀膜机上进行抽空,从大气抽到3×10-4Pa只需要18min,可见,其效果是显著的.

(3)制冷机低温泵系统 使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、运行维护方便.

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12-14

水环式真空泵有哪些型式?

使用中的水环式真空泵有单级的、多级的和单级串接喷射器的串接式水环式真空泵。两级水环式真空泵比单级水环式真空泵高的极限真空,而且吸气量曲线下降较平坦,适用于较高真空下仍需要较大吸气量的工作场合。两级...

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05-24

福清空压机浅析冷干机冰堵的原因和解决方法

福清空压机浅析冷干机冰堵的原因和解决方法: (1)用空气打压试压时带进了水分。空气里都含有水分,只不过是湿度不同所含的水分不一样罢了。倘若柜体内的温度和蒸发器的温度比较高比较干燥,打压空气中的水分不...

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02-02

氮气在石油领域主要应用于气体钻井、完井及修井、采油、油气管道输送等

随着近几年国内油气客户不断的应用总结与经验的积累,制氮设备的潜在优势及丰富的开发应用前景,已被国内油气领域业内人士所认同与关注。特别是现在世界范围内,原油价格高企,油气资源比过去任何时候都重要。作...

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04-24

永磁变频螺杆空压机的六大特点

永磁变频螺杆空压机由于其高效节能、环保低碳等优势,已经成为了空压机行业的新宠。要知道,永磁变频螺杆空压机是采用了稀土永磁材料制作的永磁电机,转子实现了稀土永磁化,无滑差,无励磁、转子无基波铁、...

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07-06

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08-04

空压机油变黑的原因及如何预防

空压机油变黑的原因: 一、空压机的整体运行环境:空压机在高温封闭的环境中极易与氮氧化物、硫化物混合之后发生化学反应,生成醇、醛、酮、酸及含氧不溶物,同时在高温下极易产生微小的烃化物及气体。 二、因空...

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01-21

高压空压机机头出现卡死故障原因是什么

购买高压空气压缩机时,客户会遇到一些问题。例如,如果机头卡住了,卡住故障的原因是什么?首先,我们必须先将电机与机头断开,然后将头部分开(普通机头可以手动旋转)。 一、机头卡住原因 首先是高压空压机缺...

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07-04

福清空压机总结下螺杆式空压机降噪的方法

空压机噪声主要有气动噪声和机械噪声两部分;气动噪声是由周期性进排气噪声、涡流噪声及旋转噪声成的。机械噪声是由齿轮噪声、管路振动以及风扇噪声等引起的。福清空压机总结认为螺杆式空压机噪声的控制主要采用...

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04-17

在福清买螺杆空压机找哪家公司好点?

在福清买螺杆空压机找哪家公司好点?福清公司空压机从事螺杆空压机,变频空压机等空压机销售及福清空压机维修保养,依托售前、售中、售后服务体系,为企业提供压缩空气系统解决方案。 空压机选型步骤: 1、确定...

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12-17

泵及真空设备安装基础的要求

(1)泵及真空设备基础本身对于所有静载荷和动载荷应有足够的强度,基础底面面积的大小和形状,以能使地基的载荷均匀而不超过其允许耐压力为准。为了节省材料,在可能范围内减少基础的总重量而又要遵守上述规则,...

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12-22

真空泵中真空材料的选材原则

对真空容器壳体及内部零件材抖的要求 ①真空泵有足够的机械强度和刚度来保证壳体能承受住室温和烘烤温度下的大气压力,并且在加热烘烤(特别是对超高真空系统) 时不发生变形。 ②气密性好。要保持一个完好的真空环...

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04-24

永磁变频螺杆空压机的变频器保护功能有哪些

1、过电压保护 变频器的输出有电压检测功能,变频器能自动调整输出电压,使电机不承受过电压。即使在输出电压调整失效和输出电压超过正常电压的110%时,变频器也会通过停机对电机起到保护作用。 2、欠电压保护 ...

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07-06

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01-21

冷干机冷媒灌注过多会怎么样?冷干机缺少冷媒有什么危害?

冷媒的灌注是决定压缩空气品质的重要因素之一,说句废话就是多了不行,少了也不行,由于大多数企业并不知道压缩空气品质不良会给生产带来巨大的危害;下面就来跟福清螺杆空压机小编看看冷干机冷媒灌注过多会怎么...

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07-06

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03-03

福州海关制订了推动物流业稳定发展七条措施 为航运物流业“保驾护航

为深入贯彻习近平总书记关于统筹做好新冠肺炎疫情(以下简称疫情)防控和经济社会发展工作的重要指示精神,落实海关总署党委、福建省委省政府相关工作部署,在做好疫情防控工作的同时,有效降低疫情对经济的影响...

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07-06

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07-06

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12-20

空压机在使用用永磁电机会有退磁的风险吗?

空压机用永磁电机到底有没有退磁的风险?一直以来都是用户和业界共同关心的话题。永磁电机一旦停机报警或直接停机,每一分钟都将给用户带来巨大的损失。那么现在,我们就通过多角度全面分析来揭开永磁电机空压机...

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06-30

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